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如圖I，所研制的平板型薄膜開關的結構與兩電極的氣體開關結構相似，由兩個圓柱型的電極2和3組成，兩個電極之間采用一層或多層(兒微米或幾十微米厚的)薄膜絕緣。通過調節結構4可以將兩個電極之間的絕緣薄膜緊壓在一起。開關的機械觸發部分由電磁鐵、復位彈簧、絕緣桿和觸發針組成。其中觸發針采用耐沖擊并具有一定硬度的皮青銅材料加工而成，可在復位機構的作用下復位。
平板型薄膜開關的總電感主要來源于開關電極及其與平板型Blumlein傳輸線連接的過渡部分的電感，其總電感值<10 nH.o
